With the further increase in functionality per chip, the reduction of transistors continue to persist. ASML tools, which become larger and larger, play an important role in enabling this shrinkage. In the presentation I will give a brief insight in the great physics present in this every larger and larger box.
De uitdagingen van ASML zijn vergelijkbaar met een jumbojet met volle snelheid 1cm boven het wateroppervlakte van Amsterdam naar New York te laten vliegen, zonder ook maar een keer in contact te komen met het water. Dit brengt vele uitdagingen met zich mee en zullen (deels) de revue passeren.
De lezing is met gratis lunch dus geen reden om niet te komen!